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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
納米微位移傳感器主機
JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機專為緊湊型應用設計，內置前置放大器、濾波器和信號調理電路，并針對適配探頭進行驅動優化，適合于集成型應用。
以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對指標有著要求的超精密測量應用。內置不同的工作模式來分別適應以靜態指標為主的計量型測量和以動態指標為主的實時應用，以及兼顧動態和靜態指標的高帶寬超精密反饋控制系統應用。多通道控制器內置通道同步功能，支持最多6通道的同步測量，用于厚度檢測、旋轉偏差校正等應用。
1、應用領域
納米級運動測量
精密光學制造
超精密機床
超精密面型測量
微細形變測量
集成電路制造
2、技術特點
高精度
兼容動態和靜態指標
可設置多通道同時輸出和每個通道獨立輸出
體積小、重量輕，通過連接主體兼容多個通道
3、規格參數：
規格型號：
型號 | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | CDN300+前置放大器CPA110 | CDN600+前置放大器CPA110 |
適配探頭 | JKZC/506-100 | JKZC/510-200 | JKZC/20-2000 | ||
遞道數 | 1 | 1 | 1 |
電氣特征：
輸出 | 模擬 | 模擬 | 模擬 | 搜:可乳,默認士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | 搜:可乳,默認士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | ||
電源 | ±15VDC | ±15VDC | ±15VDC | 220WAC | 220WAC | ||
內置前置放大器 | 是 | 是 | 是 | 靜態分辨率 | 0.00004%FSR | 0.00004%FSR | |
量程 | 100um | 200um | 2000um | 動態分辨率@2kHz | 0.00013%FSR | 0.00013%FSR | |
分辣率RMS | 2Hz | 0.02nm | 0.04nm | 0.31nm | 帶寬 | 可調，默認2kHz | 可調,默認2kHz |
25Hz | 0.04nm | 0.08nm | 0.78nm | 數據輸出速率 | 可調，默認3*10kHz | 可調，默認6*10kHz | |
1KHz | 0.11nm | 0.21nm | 1.16nm | 重復性 | 0.00017%FSR | 0.0001T%FSR | |
2KH2 | 0.15nm | 0.30nm | 1.53nm | 線性度 | 0.00017%FSR | 0.015%FSR | |
默認帶寬 | 2kHz | 2kHz | 2kHz | 同步測量 | 支持 | 支持 | |
重復性 | 0.21nm | 0.39nm | 2.1nm | 觸發輸出 | 4路TTL。事件可配置 | 8路TTL。事件可配置 | |
其他:
工作溫度范圍 | -20-100°C | 0-70°C | 0-70°C |
請用探頭電攬 | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m |
尺寸 | CDM-006/CDM 300/CDM 600 | 342mmx250mmx132mm | 150mmx250mmx 132mm |
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